干法工艺稳定性和匹配性的判断方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310630263.6

申请日：

2013-11-29

公开(公告)号：

CN103646890A

公开(公告)日：

2014-03-19

发明(设计)人：

荆泉任昱吕煜坤张旭升

申请人：

申请人地址：

201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275

代理人：

吴世华;陶金龙

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-03-02	授权	授权
2014-03-19	公开	公开
2014-04-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581490474 IPC(主分类):H01L 21/66 专利申请号:2013106302636 申请日:20131129

共 50 条

[1]

判断干法去胶工艺稳定性和匹配性的方法 [P].

荆泉 ;

任昱 ;

吕煜坤 ;

张旭升 .

中国专利 :CN103646896B ,2014-03-19

[2]

聚合结构的稳定性 [P].

J.M.波利诺 ;

L.克里什纳墨菲 ;

J.C.里特 ;

R.J.杜夫 ;

Y.布伦 ;

Z-Z.黄 ;

Z.殷 .

中国专利 :CN102822254A ,2012-12-12

[3]

用于改善热氧化稳定性和颜色稳定性的润滑剂组合物 [P].

朴宰贤 ;

方寿卿 .

中国专利 :CN106604981A ,2017-04-26

[4]

改善馏分燃料热氧化稳定性的方法和装置 [P].

S·E·塔伊洛 .

中国专利 :CN1329485C ,2005-08-03

[5]

采用金属电阻变化分析稳定性的系统和方法 [P].

詹姆斯·普拉斯魁里克 .

中国专利 :CN105849701B ,2016-08-10

[6]

具有提高的稳定性的光刻设备 [P].

P·A·范霍尔 ;

D·米隆 ;

A·N·兹德拉夫科夫 ;

M·A·范德柯克霍夫 .

中国专利 :CN114761877A ,2022-07-15

[7]

用于测量负偏置温度不稳定性的系统和方法 [P].

铃木信吾 .

中国专利 :CN1997905B ,2007-07-11

[8]

具有高均匀性和高稳定性的低温多晶硅薄膜晶体管及方法 [P].

辛倩 ;

戴鹏 ;

宋爱民 .

中国专利 :CN120076364A ,2025-05-30

[9]

可提升供电稳定性的压力变送器 [P].

郭健 .

中国专利 :CN204730977U ,2015-10-28

[10]

具有热氧化稳定性的导热油 [P].

孙跃东 ;

杨乃堂 ;

冯克权 .

中国专利 :CN105385419A ,2016-03-09

← 1 2 3 4 5 →