具有高均匀性和高稳定性的低温多晶硅薄膜晶体管及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510219391.4

申请日：

2025-02-26

公开(公告)号：

CN120076364A

公开(公告)日：

2025-05-30

发明(设计)人：

辛倩戴鹏宋爱民

申请人：

山东大学

申请人地址：

250101 山东省济南市高新区舜华路1500号

IPC主分类号：

H10D30/01

IPC分类号：

H10D30/67 H10D62/10

代理机构：

济南圣达知识产权代理有限公司 37221

代理人：

张庆骞

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-30	公开	公开
2025-06-17	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H10D 30/01申请日:20250226

共 50 条

[1]

一种具有高稳定性的低温多晶硅薄膜晶体管及其制备方法 [P].

辛倩 ;

戴鹏 ;

宋爱民 .

中国专利 :CN118588564A ,2024-09-03

[2]

薄膜晶体管及低温多晶硅薄膜晶体管之多晶硅层的制造方法 [P].

何明彻 ;

杨芸佩 ;

刘博智 ;

吕佳谦 .

中国专利 :CN1929099A ,2007-03-14

[3]

生产低温多晶硅薄膜晶体管的方法 [P].

徐正勋 ;

闫晓剑 .

中国专利 :CN102082098A ,2011-06-01

[4]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法 [P].

卢瑞 .

中国专利 :CN107068771A ,2017-08-18

[5]

低温多晶硅薄膜晶体管及薄膜晶体管基板 [P].

陈秋权 .

中国专利 :CN104538456A ,2015-04-22

[6]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法 [P].

郭政彰 .

中国专利 :CN100386885C ,2006-01-25

[7]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制备方法 [P].

何剑 ;

苏君海 ;

李建华 .

中国专利 :CN104157700A ,2014-11-19

[8]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法 [P].

李金明 .

中国专利 :CN105470312A ,2016-04-06

[9]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制备方法 [P].

陈卓 .

中国专利 :CN105140128A ,2015-12-09

[10]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制备方法 [P].

陈卓 ;

陈建荣 ;

任思雨 ;

苏君海 ;

李建华 .

中国专利 :CN105140130A ,2015-12-09

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