低温多晶硅薄膜晶体管及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510642197.3

申请日：

2015-09-29

公开(公告)号：

CN105140130A

公开(公告)日：

2015-12-09

发明(设计)人：

陈卓陈建荣任思雨苏君海李建华

申请人：

申请人地址：

516000 广东省惠州市仲恺高新区仲恺大道666号科融创业大厦13层

IPC主分类号：

H01L21336

IPC分类号：

H01L21268 H01L29786

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

邓云鹏

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-01-19	授权	授权
2015-12-09	公开	公开
2016-01-06	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101640719100 IPC(主分类):H01L 21/336 专利申请号:2015106421973 申请日:20150929

共 50 条

[1]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制备方法 [P].

陈卓 .

中国专利 :CN105140128A ,2015-12-09

[2]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制备方法 [P].

何剑 ;

苏君海 ;

李建华 .

中国专利 :CN104157700A ,2014-11-19

[3]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制备方法 [P].

肖东辉 .

中国专利 :CN107481936A ,2017-12-15

[4]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制备方法 [P].

敏健 .

中国专利 :CN104979215B ,2015-10-14

[5]

低温多晶硅薄膜及其制备方法、低温多晶硅薄膜晶体管 [P].

葛泳 ;

刘玉成 ;

朱涛 ;

顾维杰 .

中国专利 :CN104362084A ,2015-02-18

[6]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制作方法 [P].

张占东 .

中国专利 :CN105655404A ,2016-06-08

[7]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法 [P].

郭政彰 .

中国专利 :CN100386885C ,2006-01-25

[8]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法 [P].

李金明 .

中国专利 :CN105470312A ,2016-04-06

[9]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法 [P].

李海旭 ;

曹占锋 ;

姚琪 .

中国专利 :CN107482063A ,2017-12-15

[10]

薄膜晶体管及低温多晶硅薄膜晶体管之多晶硅层的制造方法 [P].

何明彻 ;

杨芸佩 ;

刘博智 ;

吕佳谦 .

中国专利 :CN1929099A ,2007-03-14

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