低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200410054469.X

申请日：

2004-07-22

公开(公告)号：

CN100386885C

公开(公告)日：

2006-01-25

发明(设计)人：

郭政彰

申请人：

申请人地址：

台湾省新竹

IPC主分类号：

H01L29786

IPC分类号：

H01L21336

代理机构：

永新专利商标代理有限公司

代理人：

王永建

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-03-22	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-05-07	授权	授权
2006-01-25	公开	公开

共 50 条

[1]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法 [P].

陈归 ;

赵莽 .

中国专利 :CN105140294A ,2015-12-09

[2]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法 [P].

李金明 .

中国专利 :CN105470312A ,2016-04-06

[3]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法 [P].

李海旭 ;

曹占锋 ;

姚琪 .

中国专利 :CN107482063A ,2017-12-15

[4]

低温多晶硅薄膜晶体管及其多晶硅层的制造方法 [P].

彭佳添 ;

吴焕照 .

中国专利 :CN1536620A ,2004-10-13

[5]

薄膜晶体管及低温多晶硅薄膜晶体管之多晶硅层的制造方法 [P].

何明彻 ;

杨芸佩 ;

刘博智 ;

吕佳谦 .

中国专利 :CN1929099A ,2007-03-14

[6]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法 [P].

卢瑞 .

中国专利 :CN107068771A ,2017-08-18

[7]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法 [P].

彭佳添 ;

孙铭玮 .

中国专利 :CN1540729A ,2004-10-27

[8]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法 [P].

卢昶鸣 .

中国专利 :CN104617132B ,2015-05-13

[9]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法 [P].

李金明 .

中国专利 :CN104538454B ,2015-04-22

[10]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制备方法 [P].

何剑 ;

苏君海 ;

李建华 .

中国专利 :CN104157700A ,2014-11-19

← 1 2 3 4 5 →