低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410856397.4

申请日：

2014-12-31

公开(公告)号：

CN104617132B

公开(公告)日：

2015-05-13

发明(设计)人：

卢昶鸣

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市光明新区公明办事处塘家社区观光路汇业科技园综合楼1第一层B区

IPC主分类号：

H01L2906

IPC分类号：

H01L29786 H01L21336

代理机构：

深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280

代理人：

何青瓦

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-06-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101612427771 IPC(主分类):H01L 29/06 专利申请号:2014108563974 申请日:20141231
2015-05-13	公开	公开
2017-05-10	授权	授权

共 50 条

[1]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法 [P].

卢瑞 .

中国专利 :CN107068771A ,2017-08-18

[2]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法 [P].

陈归 ;

赵莽 .

中国专利 :CN105140294A ,2015-12-09

[3]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法 [P].

彭佳添 ;

孙铭玮 .

中国专利 :CN1540729A ,2004-10-27

[4]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法 [P].

郭政彰 .

中国专利 :CN100386885C ,2006-01-25

[5]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法 [P].

李金明 .

中国专利 :CN105470312A ,2016-04-06

[6]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法 [P].

李海旭 ;

曹占锋 ;

姚琪 .

中国专利 :CN107482063A ,2017-12-15

[7]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法 [P].

李金明 .

中国专利 :CN104538454B ,2015-04-22

[8]

低温多晶硅薄膜晶体管及其多晶硅层的制造方法 [P].

彭佳添 ;

吴焕照 .

中国专利 :CN1536620A ,2004-10-13

[9]

薄膜晶体管及低温多晶硅薄膜晶体管之多晶硅层的制造方法 [P].

何明彻 ;

杨芸佩 ;

刘博智 ;

吕佳谦 .

中国专利 :CN1929099A ,2007-03-14

[10]

低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法、低温多晶硅薄膜晶体管 [P].

葛泳 ;

邱勇 ;

黄秀颀 ;

朱涛 ;

刘玉成 .

中国专利 :CN103050410A ,2013-04-17

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