低温多晶硅薄膜晶体管及其多晶硅层的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03109485.6

申请日：

2003-04-09

公开(公告)号：

CN1536620A

公开(公告)日：

2004-10-13

发明(设计)人：

彭佳添吴焕照

申请人：

申请人地址：

台湾省新竹科学工业园区新竹市力行二路一号

IPC主分类号：

H01L2120

IPC分类号：

H01L21324 G02F1133 H01L21336

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

王学强

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-07-19	授权	授权
2004-12-29	实质审查的生效	实质审查的生效
2004-10-13	公开	公开

共 50 条

[1]

薄膜晶体管及低温多晶硅薄膜晶体管之多晶硅层的制造方法 [P].

何明彻 ;

杨芸佩 ;

刘博智 ;

吕佳谦 .

中国专利 :CN1929099A ,2007-03-14

[2]

低温多晶硅薄膜晶体管制造方法 [P].

许民庆 ;

吴钊鹏 ;

庄涂城 ;

余鸿志 ;

吕宏哲 .

中国专利 :CN102629558B ,2012-08-08

[3]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法 [P].

郭政彰 .

中国专利 :CN100386885C ,2006-01-25

[4]

低温多晶硅薄膜及其制备方法、低温多晶硅薄膜晶体管 [P].

葛泳 ;

刘玉成 ;

朱涛 ;

顾维杰 .

中国专利 :CN104362084A ,2015-02-18

[5]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法 [P].

陈归 ;

赵莽 .

中国专利 :CN105140294A ,2015-12-09

[6]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法 [P].

李金明 .

中国专利 :CN105470312A ,2016-04-06

[7]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法 [P].

李海旭 ;

曹占锋 ;

姚琪 .

中国专利 :CN107482063A ,2017-12-15

[8]

低温多晶硅薄膜的制造方法及低温多晶硅薄膜晶体管 [P].

陈韵升 .

中国专利 :CN1259693C ,2004-10-27

[9]

低温多晶硅薄膜晶体管 [P].

郭政彰 .

中国专利 :CN2717021Y ,2005-08-10

[10]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法 [P].

卢瑞 .

中国专利 :CN107068771A ,2017-08-18

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