低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410837376.8

申请日：

2014-12-26

公开(公告)号：

CN104538454B

公开(公告)日：

2015-04-22

发明(设计)人：

李金明

申请人：

申请人地址：

518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9—2号

IPC主分类号：

H01L29786

IPC分类号：

H01L21336

代理机构：

深圳市德力知识产权代理事务所 44265

代理人：

林才桂

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-04-22	公开	公开
2017-12-01	授权	授权
2015-05-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101609900179 IPC(主分类):H01L 29/786 专利申请号:2014108373768 申请日:20141226

共 50 条

[1]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法 [P].

陈归 ;

赵莽 .

中国专利 :CN105140294A ,2015-12-09

[2]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法 [P].

卢瑞 .

中国专利 :CN107068771A ,2017-08-18

[3]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法 [P].

彭佳添 ;

孙铭玮 .

中国专利 :CN1540729A ,2004-10-27

[4]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法 [P].

郭政彰 .

中国专利 :CN100386885C ,2006-01-25

[5]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法 [P].

李金明 .

中国专利 :CN105470312A ,2016-04-06

[6]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法 [P].

卢昶鸣 .

中国专利 :CN104617132B ,2015-05-13

[7]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法 [P].

李海旭 ;

曹占锋 ;

姚琪 .

中国专利 :CN107482063A ,2017-12-15

[8]

低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法、低温多晶硅薄膜晶体管 [P].

葛泳 ;

邱勇 ;

黄秀颀 ;

朱涛 ;

刘玉成 .

中国专利 :CN103050410A ,2013-04-17

[9]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制备方法 [P].

何剑 ;

苏君海 ;

李建华 .

中国专利 :CN104157700A ,2014-11-19

[10]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制备方法 [P].

肖东辉 .

中国专利 :CN107481936A ,2017-12-15

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