一种多晶硅铸锭用石英坩埚的氮化硅喷涂工艺及装置

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专利类型
发明
申请号
CN201510334557.3
申请日
2015-06-16
公开(公告)号
CN104926149A
公开(公告)日
2015-09-23
发明(设计)人
钟铮
申请人
申请人地址
404000 重庆市万州区龙都大道666号
IPC主分类号
C03C1722
IPC分类号
代理机构
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人
李海建
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的氮化硅喷涂方法 [P]. 
任向东 ;
鲍家兴 ;
左云翔 .
中国专利 :CN101428273B ,2009-05-13
[2]
多晶硅铸锭用氮化硅结合熔融石英坩埚的制备方法 [P]. 
姜欣 ;
王刚 ;
王自强 ;
王冬冬 ;
周慧君 .
中国专利 :CN105541311B ,2016-05-04
[3]
一种多晶硅铸锭用石英坩埚的氮化硅涂层制作方法 [P]. 
冷金标 ;
龙昭钦 ;
周慧敏 ;
周成 ;
毛亮亮 ;
徐志群 .
中国专利 :CN107417301A ,2017-12-01
[4]
一种多晶硅铸锭氮化硅涂层坩埚及涂层制备方法 [P]. 
蒋兴贤 .
中国专利 :CN104911703A ,2015-09-16
[5]
多晶硅坩埚喷涂免烘干的方法及氮化硅涂层 [P]. 
高世超 ;
陈立新 ;
冯文宏 ;
张运峰 ;
王丙宽 .
中国专利 :CN103506263A ,2014-01-15
[6]
氮化硅溶液及其制备方法、多晶硅铸锭用坩埚及其制备方法 [P]. 
张小建 ;
刘华 ;
王悦 ;
杨杰 ;
魏驰远 .
中国专利 :CN103288357B ,2013-09-11
[7]
多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的氮化硅喷涂装置 [P]. 
任向东 ;
鲍家兴 ;
左云翔 .
中国专利 :CN201305659Y ,2009-09-09
[8]
多晶硅铸锭石英坩埚氮化硅涂层用粘结剂及其制备方法 [P]. 
朱斌 ;
仵靖 .
中国专利 :CN107312432B ,2017-11-03
[9]
氮化硅粉末、多晶硅铸锭用脱模剂及多晶硅铸锭的制造方法 [P]. 
王丸卓司 ;
柴田耕司 ;
山尾猛 ;
山田哲夫 .
中国专利 :CN110062745A ,2019-07-26
[10]
多晶硅铸锭用石英坩埚的制造方法 [P]. 
谭文运 ;
衡墩志 ;
谭运红 ;
谭龙江 .
中国专利 :CN102115305A ,2011-07-06