多晶硅坩埚喷涂免烘干的方法及氮化硅涂层

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201110455432.8
申请日
2011-12-30
公开(公告)号
CN103506263A
公开(公告)日
2014-01-15
发明(设计)人
高世超 陈立新 冯文宏 张运峰 王丙宽
申请人
申请人地址
071051 河北省保定市朝阳北大街3399号
IPC主分类号
B05D500
IPC分类号
B05D508 B05D102 B05D300 C01B3314 C30B2806 C30B2906
代理机构
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人
逯长明
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种多晶硅铸锭氮化硅涂层坩埚及涂层制备方法 [P]. 
蒋兴贤 .
中国专利 :CN104911703A ,2015-09-16
[2]
一种多晶硅铸锭用石英坩埚的氮化硅喷涂工艺及装置 [P]. 
钟铮 .
中国专利 :CN104926149A ,2015-09-23
[3]
一种铸造多晶硅免喷坩埚氮化硅涂层及其制备方法 [P]. 
杜宁 ;
季勇升 ;
杨德仁 ;
张亚光 ;
杜英 ;
陆介平 .
中国专利 :CN108069731A ,2018-05-25
[4]
一种多晶硅铸锭用氮化硅涂层的制备方法 [P]. 
张嵘 ;
刘久明 .
中国专利 :CN106400109A ,2017-02-15
[5]
一种多晶硅铸锭用坩埚的氮化硅涂层及其制备方法 [P]. 
李健 ;
李聪 ;
谢炎 ;
高源 .
中国专利 :CN109020626B ,2018-12-18
[6]
多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的氮化硅喷涂方法 [P]. 
任向东 ;
鲍家兴 ;
左云翔 .
中国专利 :CN101428273B ,2009-05-13
[7]
多晶硅铸锭坩埚喷涂免烧结方法 [P]. 
熊涛涛 ;
马良 ;
印亚峰 ;
刘瑞柱 ;
王俊涛 .
中国专利 :CN102367572B ,2012-03-07
[8]
一种多晶硅铸锭用硅夹层氮化硅涂层的制备方法 [P]. 
张嵘 ;
刘久明 ;
颜记朋 .
中国专利 :CN105862123A ,2016-08-17
[9]
一种用于多晶硅铸锭坩埚的氮化硅喷涂溶液的制备方法 [P]. 
吕东 ;
胡动力 ;
董一迪 ;
刘海 .
中国专利 :CN102503545A ,2012-06-20
[10]
一种改善多晶硅铸锭晶花的氮化硅免喷涂涂层及其制作方法 [P]. 
张福军 ;
杨艳红 ;
孔令奇 ;
邵雨月 .
中国专利 :CN108560046A ,2018-09-21