一种铸造多晶硅免喷坩埚氮化硅涂层及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711354115.0

申请日：

2017-12-15

公开(公告)号：

CN108069731A

公开(公告)日：

2018-05-25

发明(设计)人：

杜宁季勇升杨德仁张亚光杜英陆介平

申请人：

申请人地址：

212218 江苏省镇江市扬中市长旺新材料工业园区

IPC主分类号：

C04B4187

IPC分类号：

C30B2806 C30B2906

代理机构：

南京天华专利代理有限责任公司 32218

代理人：

徐冬涛;李晓峰

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-24	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C04B 41/87 申请公布日:20180525
2018-06-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 41/87 申请日:20171215
2018-05-25	公开	公开

共 50 条

[1]

一种铸造多晶硅免喷坩埚涂层及其制备方法 [P].

季勇升 ;

杜宁 ;

杨德仁 ;

张亚光 ;

杜英 ;

陆介平 .

中国专利 :CN108046846B ,2018-05-18

[2]

一种多晶硅铸锭用坩埚的氮化硅涂层及其制备方法 [P].

李健 ;

李聪 ;

谢炎 ;

高源 .

中国专利 :CN109020626B ,2018-12-18

[3]

多晶硅坩埚喷涂免烘干的方法及氮化硅涂层 [P].

高世超 ;

陈立新 ;

冯文宏 ;

张运峰 ;

王丙宽 .

中国专利 :CN103506263A ,2014-01-15

[4]

一种多晶硅铸锭氮化硅涂层坩埚及涂层制备方法 [P].

蒋兴贤 .

中国专利 :CN104911703A ,2015-09-16

[5]

多晶硅铸锭石英坩埚氮化硅涂层用粘结剂及其制备方法 [P].

朱斌 ;

仵靖 .

中国专利 :CN107312432B ,2017-11-03

[6]

一种铸造多晶硅免喷坩埚 [P].

季勇升 ;

陆介平 ;

杜宁 ;

王宇航 .

中国专利 :CN107916451B ,2018-04-17

[7]

氮化硅坩埚涂层及其制备方法 [P].

卢建华 ;

彭春球 ;

刘文涛 .

中国专利 :CN103183478A ,2013-07-03

[8]

一种多晶硅铸锭用氮化硅涂层的制备方法 [P].

张嵘 ;

刘久明 .

中国专利 :CN106400109A ,2017-02-15

[9]

氮化硅溶液及其制备方法、多晶硅铸锭用坩埚及其制备方法 [P].

张小建 ;

刘华 ;

王悦 ;

杨杰 ;

魏驰远 .

中国专利 :CN103288357B ,2013-09-11

[10]

一种多晶硅铸锭用硅夹层氮化硅涂层的制备方法 [P].

张嵘 ;

刘久明 ;

颜记朋 .

中国专利 :CN105862123A ,2016-08-17

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