一种用于多晶硅铸锭坩埚的氮化硅喷涂溶液的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110299490.6

申请日：

2011-09-28

公开(公告)号：

CN102503545A

公开(公告)日：

2012-06-20

发明(设计)人：

吕东胡动力董一迪刘海

申请人：

申请人地址：

338000 江西省新余市高新经济开发区赛维工业园专利办公室

IPC主分类号：

C04B4150

IPC分类号：

代理机构：

广州三环专利代理有限公司 44202

代理人：

郝传鑫;熊永强

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-04-30	授权	授权
2021-09-14	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C04B 41/50 申请日:20110928 授权公告日:20140430 终止日期:20200928
2013-04-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101432322854 IPC(主分类):C04B 41/50 专利申请号:2011102994906 申请日:20110928
2012-06-20	公开	公开

共 50 条

[1]

氮化硅溶液及其制备方法、多晶硅铸锭用坩埚及其制备方法 [P].

张小建 ;

刘华 ;

王悦 ;

杨杰 ;

魏驰远 .

中国专利 :CN103288357B ,2013-09-11

[2]

一种多晶硅铸锭用坩埚的氮化硅涂层及其制备方法 [P].

李健 ;

李聪 ;

谢炎 ;

高源 .

中国专利 :CN109020626B ,2018-12-18

[3]

一种多晶硅铸锭氮化硅涂层坩埚及涂层制备方法 [P].

蒋兴贤 .

中国专利 :CN104911703A ,2015-09-16

[4]

多晶硅铸锭用氮化硅结合熔融石英坩埚的制备方法 [P].

姜欣 ;

王刚 ;

王自强 ;

王冬冬 ;

周慧君 .

中国专利 :CN105541311B ,2016-05-04

[5]

一种多晶硅铸锭用氮化硅涂层的制备方法 [P].

张嵘 ;

刘久明 .

中国专利 :CN106400109A ,2017-02-15

[6]

一种多晶硅铸锭用硅夹层氮化硅涂层的制备方法 [P].

张嵘 ;

刘久明 ;

颜记朋 .

中国专利 :CN105862123A ,2016-08-17

[7]

一种多晶硅铸锭用石英坩埚的氮化硅喷涂工艺及装置 [P].

钟铮 .

中国专利 :CN104926149A ,2015-09-23

[8]

一种多晶硅铸锭用石英坩埚的氮化硅涂层制作方法 [P].

冷金标 ;

龙昭钦 ;

周慧敏 ;

周成 ;

毛亮亮 ;

徐志群 .

中国专利 :CN107417301A ,2017-12-01

[9]

多晶硅坩埚喷涂免烘干的方法及氮化硅涂层 [P].

高世超 ;

陈立新 ;

冯文宏 ;

张运峰 ;

王丙宽 .

中国专利 :CN103506263A ,2014-01-15

[10]

多晶硅铸锭石英坩埚氮化硅涂层用粘结剂及其制备方法 [P].

朱斌 ;

仵靖 .

中国专利 :CN107312432B ,2017-11-03

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