照明光学系统及采用该照明光学系统的光刻设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610379351.7

申请日：

2016-05-31

公开(公告)号：

CN107450274A

公开(公告)日：

2017-12-08

发明(设计)人：

何志远马鹏川

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-01-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20160531
2017-12-08	公开	公开
2019-03-26	授权	授权

共 50 条

[1]

照明光学系统 [P].

猪股亨 ;

桑垣内智仁 .

日本专利 :CN119630924A ,2025-03-14

[2]

照明光学系统 [P].

小川润 .

中国专利 :CN201141973Y ,2008-10-29

[3]

照明光学系统 [P].

冈哲大 .

中国专利 :CN110168278A ,2019-08-23

[4]

照明光学系统 [P].

小西定幸 ;

树下佳百合 ;

石井健太 ;

坂上典久 ;

关大介 .

中国专利 :CN112243480A ,2021-01-19

[5]

照明光学系统 [P].

加茂裕二 ;

高头英泰 ;

笹本勉 .

中国专利 :CN102687059A ,2012-09-19

[6]

投射光刻的照明光学系统 [P].

T.刚 ;

J.范肖特 .

中国专利 :CN113168114A ,2021-07-23

[7]

投射光刻的照明光学系统 [P].

T.刚 ;

J.范肖特 .

德国专利 :CN113168114B ,2025-02-11

[8]

照明光学系统和使用该照明光学系统的投影仪 [P].

齐藤裕之 ;

加藤厚志 ;

宇都宫基恭 ;

大坂明弘 ;

松原正晃 .

中国专利 :CN102741742A ,2012-10-17

[9]

照明光学系统和使用该照明光学系统的投影仪 [P].

齐藤裕之 ;

加藤厚志 ;

宇都宫基恭 ;

大坂明弘 ;

松原正晃 .

中国专利 :CN102741743A ,2012-10-17

[10]

照明光学系统模组 [P].

王海湘 ;

马永珍 ;

单攀逢 ;

王天洲 .

中国专利 :CN205388665U ,2016-07-20

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