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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2010-12-29 | 授权 | 授权 |
| 2006-09-06 | 公开 | 公开 |
| 2012-05-16 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101243918857 IPC(主分类):G03F 7/004 专利号:ZL2006100586051 申请日:20060302 授权公告日:20101229 终止日期:20110302 |
| 2008-01-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |