双面连续镀膜的真空蒸镀装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810893345.2

申请日：

2018-08-07

公开(公告)号：

CN108624861A

公开(公告)日：

2018-10-09

发明(设计)人：

严佐毅刘文卿

申请人：

申请人地址：

安徽省淮南市寿县新桥国际产业园新桥大道东侧幸福大道北侧创凯科技园内3号研发楼

IPC主分类号：

C23C1456

IPC分类号：

C23C1424

代理机构：

北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265

代理人：

叶树明

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-10-09	公开	公开
2018-11-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/56 申请日:20180807
2018-12-18	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):C23C 14/56 申请公布日:20181009

共 50 条

[1]

双面连续镀膜的真空蒸镀装置 [P].

严佐毅 ;

刘文卿 .

中国专利 :CN109355634A ,2019-02-19

[2]

真空蒸镀晶板镀膜装置和真空蒸镀晶板镀膜方法 [P].

陈磊 ;

陈建民 ;

赵丽萍 ;

钱俊有 ;

张文涛 ;

蔡水占 ;

张会超 ;

王东胜 .

中国专利 :CN105734497A ,2016-07-06

[3]

一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备 [P].

万喆 ;

亢宁 .

中国专利 :CN114807865A ,2022-07-29

[4]

真空蒸镀晶板镀膜装置 [P].

陈磊 ;

陈建民 ;

赵丽萍 ;

钱俊友 ;

张文涛 ;

蔡水占 ;

张会超 ;

王东胜 .

中国专利 :CN205635761U ,2016-10-12

[5]

用于真空蒸镀镀膜设备的连续式送丝机构 [P].

陈清胜 ;

赵锐 .

中国专利 :CN209602628U ,2019-11-08

[6]

真空蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

匡友元 .

中国专利 :CN103726020B ,2014-04-16

[7]

真空蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

匡友元 .

中国专利 :CN103741097A ,2014-04-23

[8]

连续真空镀膜用蒸发舟和真空蒸镀系统 [P].

王帅 ;

朱中亚 ;

夏建中 ;

曾来源 .

中国专利 :CN220926905U ,2024-05-10

[9]

真空蒸镀加热装置 [P].

刘扬 ;

刘亚伟 .

中国专利 :CN105603365B ,2016-05-25

[10]

真空蒸镀装置和真空蒸镀方法 [P].

大工博之 .

中国专利 :CN103966554B ,2014-08-06

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