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一种外层曝光机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020725971.3
申请日：
2020-05-06
公开(公告)号：
CN211698591U
公开(公告)日：
2020-10-16
发明(设计)人：
付艳
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市宝安区沙井街道和一社区沙头工业区兴英厂厂房6栋一层（4栋、6栋）
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312
代理人：
龙丹丹
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-10-16 | 授权 | 授权 |