一种外层曝光机的导气条结构

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201621474427.6
申请日
2016-12-29
公开(公告)号
CN206311888U
公开(公告)日
2017-07-07
发明(设计)人
唐秀忠 孙仕林
申请人
申请人地址
518104 广东省深圳市宝安区沙井镇新沙路西段东塘工业区竞华电子
IPC主分类号
G03F720
IPC分类号
代理机构
深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312
代理人
陈健
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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