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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-12-07 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101148111071 IPC(主分类):C23C 16/00 专利号:ZL022829822 申请日:20020927 授权公告日:20030917 终止日期:20100927 |
| 2003-09-17 | 授权 | 授权 |
| 2004-08-11 | 著录事项变更 | 著录事项变更 变更事项:设计人 变更前:斋藤孝规;牧谷敏幸;长内长荣;泷泽刚;岛津和久;长谷部一秀;山本博之;斋藤幸正;山贺健一 变更后:斋藤孝规;牧谷敏幸;长内长荣;泷泽刚;岛津知久;长谷部一秀;山本博之;斋藤幸正;山贺健一 |