热处理装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN02287353.8

申请日：

2002-09-27

公开(公告)号：

CN2591770Y

公开(公告)日：

2003-12-10

发明(设计)人：

牧谷敏幸斋藤孝规泷泽刚艾克曼香留树

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21324

IPC分类号：

H01L2122

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

张天安;杨松龄

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-12-29	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101028087007 IPC(主分类):H01L 21/324 专利号:ZL022873538 申请日:20020927 授权公告日:20031210 终止日期:20091027
2003-12-10	授权	授权

共 50 条

[1]

热处理方法和热处理装置 [P].

牧谷敏幸 ;

斋藤孝规 ;

滝泽刚 ;

爱库曼香留树 .

中国专利 :CN100477086C ,2005-09-14

[2]

热处理装置 [P].

小林聪树 .

中国专利 :CN210325699U ,2020-04-14

[3]

热处理装置 [P].

齐藤孝规 ;

山贺健一 ;

中尾贤 .

中国专利 :CN2597491Y ,2004-01-07

[4]

热处理装置 [P].

小林聪树 .

中国专利 :CN210378972U ,2020-04-21

[5]

热处理装置 [P].

牧谷敏幸 ;

斋藤孝规 ;

爱库曼香留树 ;

S·卡夏卢 ;

A·迪普 ;

D·L·奥迈拉 .

中国专利 :CN1257537C ,2004-05-05

[6]

热处理装置 [P].

斋藤孝规 ;

牧谷敏幸 ;

长内长荣 ;

泷泽刚 ;

岛津和久 ;

长谷部一秀 ;

山本博之 ;

斋藤幸正 ;

山贺健一 .

中国专利 :CN2573509Y ,2003-09-17

[7]

加热处理装置 [P].

高木慎介 ;

久我恭弘 ;

大塚幸信 ;

相良慎一 .

中国专利 :CN213042875U ,2021-04-23

[8]

立式热处理装置 [P].

门部雅人 ;

中尾贤 ;

山贺健一 .

中国专利 :CN2600455Y ,2004-01-21

[9]

一种异形工件热处理装置 [P].

柏民 .

中国专利 :CN214694296U ,2021-11-12

[10]

热处理炉以及热处理装置 [P].

小林诚 .

中国专利 :CN102856231A ,2013-01-02

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