热处理炉以及热处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210217199.4

申请日：

2012-06-27

公开(公告)号：

CN102856231A

公开(公告)日：

2013-01-02

发明(设计)人：

小林诚

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21324

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-01-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101559325067 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2012102171994 申请日:20120627
2013-01-02	公开	公开
2016-03-09	授权	授权

共 50 条

[1]

热处理炉以及具有该热处理炉的热处理装置 [P].

近冈秀男 .

中国专利 :CN104515384A ,2015-04-15

[2]

热处理炉及热处理装置 [P].

小林诚 ;

山贺健一 ;

佐佐木章 ;

池田大延 ;

小池贵浩 .

中国专利 :CN102842523A ,2012-12-26

[3]

热处理炉和立式热处理装置 [P].

小林诚 ;

市川贵 ;

山贺健一 .

中国专利 :CN101256946A ,2008-09-03

[4]

热处理炉和立式热处理装置 [P].

市川贵 ;

小林诚 ;

山贺健一 .

中国专利 :CN101312123A ,2008-11-26

[5]

热处理方法以及热处理装置 [P].

青山敬幸 ;

河原崎光 ;

古川雅志 ;

加藤慎一 ;

布施和彦 ;

谷村英昭 .

中国专利 :CN106486397A ,2017-03-08

[6]

热处理方法以及热处理装置 [P].

青山敬幸 ;

河原崎光 ;

古川雅志 ;

加藤慎一 ;

布施和彦 ;

谷村英昭 .

日本专利 :CN112652559B ,2025-04-15

[7]

热处理方法以及热处理装置 [P].

井上久司 ;

松本俊一 ;

竹内靖 .

中国专利 :CN101399173A ,2009-04-01

[8]

热处理装置以及热处理方法 [P].

下宫修 ;

安藤博史 .

中国专利 :CN102958856B ,2013-03-06

[9]

热处理方法以及热处理装置 [P].

斋藤孝规 ;

芹泽和秀 ;

市川贵 .

中国专利 :CN1771584A ,2006-05-10

[10]

热处理装置以及热处理方法 [P].

山口达也 ;

伊东俊行 .

中国专利 :CN115148629A ,2022-10-04

← 1 2 3 4 5 →