坩埚轴升降控制系统

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201120391035.4
申请日
2011-10-13
公开(公告)号
CN202369679U
公开(公告)日
2012-08-08
发明(设计)人
张鹏 杜文红
申请人
申请人地址
100079 北京市丰台区永外宋家庄苇子坑2号
IPC主分类号
C30B1520
IPC分类号
C30B1510 C30B2906
代理机构
代理人
法律状态
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国省代码
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共 50 条
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