一种清洗槽结构及清洗机台

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721662237.1

申请日：

2017-12-04

公开(公告)号：

CN207839505U

公开(公告)日：

2018-09-11

发明(设计)人：

汪康陆从喜林宗贤吴龙江辛君田得暄

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

B08B312

IPC分类号：

B08B310 B08B1300 H01L2167 G01P336

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

余明伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-09-11	授权	授权

共 50 条

[1]

一种清洗槽及具有其的清洗机台 [P].

潘东林 ;

徐培明 ;

吴军 .

中国专利 :CN216827478U ,2022-06-28

[2]

清洗机台 [P].

兰升友 ;

袁山富 ;

文成龙 .

中国专利 :CN217306453U ,2022-08-26

[3]

一种清洗槽及具有该清洗槽的清洗机 [P].

张牧翔 ;

徐小占 ;

杨飞龙 ;

王坤 ;

徐化祥 ;

刘松松 .

中国专利 :CN223070039U ,2025-07-08

[4]

一种清洗机台设计结构 [P].

周磊 ;

窦沛静 ;

丁媛 .

中国专利 :CN209985843U ,2020-01-24

[5]

硅片清洗槽及槽式清洗机 [P].

张硕 ;

黄峰城 ;

赵保星 .

中国专利 :CN222999257U ,2025-06-20

[6]

一种清洗机台 [P].

刘红伟 ;

赵黎 ;

刘家桦 .

中国专利 :CN207868173U ,2018-09-14

[7]

一种清洗机台 [P].

周磊 ;

窦沛静 .

中国专利 :CN210497348U ,2020-05-12

[8]

清洗方法及清洗机台 [P].

刘佑铭 ;

何永根 .

中国专利 :CN101592875A ,2009-12-02

[9]

一种清洗机及槽式清洗系统 [P].

董犁豪 ;

董帅 ;

罗茂盛 ;

贾帅笔 ;

李哲 ;

刘旭东 .

中国专利 :CN221934951U ,2024-11-01

[10]

晶圆清洗机台 [P].

吕慧超 ;

高英哲 ;

刘家桦 .

中国专利 :CN209487474U ,2019-10-11

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