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一种用于硅片清洗的大花篮
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201922302243.1
申请日：
2019-12-20
公开(公告)号：
CN210866138U
公开(公告)日：
2020-06-26
发明(设计)人：
王铁
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市吴中区木渎镇木胥西路27号3号厂房
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
H01L2167
H01L3118
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-06-26 | 授权 | 授权 |