一种用于硅片清洗的花篮

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202120046509.5
申请日
2021-01-08
公开(公告)号
CN214336688U
公开(公告)日
2021-10-01
发明(设计)人
祝凯
申请人
申请人地址
324300 浙江省衢州市开化县华埠镇江东南路2号405(自主申报)
IPC主分类号
H01L21673
IPC分类号
代理机构
温州青科专利代理事务所(特殊普通合伙) 33390
代理人
虞乘乘
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
一种用于硅片清洗的大花篮 [P]. 
王铁 .
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[2]
一种用于硅片清洗的大花篮 [P]. 
明伟辉 ;
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一种用于硅片清洗的承载花篮 [P]. 
钱程 ;
孟岭 .
中国专利 :CN218414512U ,2023-01-31
[4]
硅片清洗花篮 [P]. 
王克喜 .
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[5]
硅片清洗花篮 [P]. 
吴世钦 .
中国专利 :CN207533614U ,2018-06-26
[6]
硅片清洗花篮 [P]. 
王克喜 .
中国专利 :CN207021243U ,2018-02-16
[7]
硅片清洗花篮 [P]. 
宋文 .
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[8]
硅片清洗花篮 [P]. 
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[9]
硅片清洗花篮 [P]. 
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潘军明 ;
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[10]
一种硅片清洗花篮 [P]. 
傅林坚 ;
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谷士斌 ;
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侯洪涛 ;
任明冲 ;
周学谦 ;
宋元恒 ;
潘文博 .
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