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气体流量控制模块
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201821314456.5
申请日：
2018-08-15
公开(公告)号：
CN208477386U
公开(公告)日：
2019-02-05
发明(设计)人：
王宏亮
史殿龙
迟方圆
孔艳超
周济翠
申请人：
申请人地址：
266000 山东省青岛市城阳区夏庄街道仙山东路3号
IPC主分类号：
G05D706
IPC分类号：
代理机构：
青岛中天汇智知识产权代理有限公司 37241
代理人：
雷斐
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-05-04 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G05D 7/06 变更事项:专利权人 变更前:青岛众瑞智能仪器有限公司 变更后:青岛众瑞智能仪器股份有限公司 变更事项:地址 变更前:266000 山东省青岛市城阳区夏庄街道仙山东路3号 变更后:266000 山东省青岛市城阳区雪岳路1号 |
| 2019-02-05 | 授权 | 授权 |