共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
静电吸盘和基板固定装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011456661.7
申请日：
2020-12-10
公开(公告)号：
CN112951754A
公开(公告)日：
2021-06-11
发明(设计)人：
草间泰彦
申请人：
申请人地址：
日本长野县
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人：
顾红霞;龙涛峰
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-08-05 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20201210 |
| 2021-06-11 | 公开 | 公开 |