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静电吸盘和基板固定装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110123597.9
申请日：
2021-01-29
公开(公告)号：
CN113284836B
公开(公告)日：
2025-07-25
发明(设计)人：
小林博幸
申请人：
新光电气工业株式会社
申请人地址：
日本长野县
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
H01J37/32
代理机构：
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人：
顾红霞;龙涛峰
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-07-25 | 授权 | 授权 |