一种高致密度钼铌合金溅射靶材的制备工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910670783.7

申请日：

2019-07-24

公开(公告)号：

CN110257784A

公开(公告)日：

2019-09-20

发明(设计)人：

李帅方方宏孙虎民张雪凤刘宁平陈亚光高艳岭

申请人：

申请人地址：

471000 河南省洛阳市高新技术开发区河洛路269号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

B22F304 B22F310 B22F315 B22F318 B22F324 C22C2704

代理机构：

郑州知己知识产权代理有限公司 41132

代理人：

季发军

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-09-20	公开	公开
2022-07-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/34 申请公布日:20190920
2019-10-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20190724

共 50 条

[1]

一种高致密度钼钽合金溅射靶材的制备工艺 [P].

李帅方 ;

方宏 ;

孙虎民 ;

陈亚光 .

中国专利 :CN110538993A ,2019-12-06

[2]

一种高致密度钼铌合金靶材及其制备工艺 [P].

吴小超 ;

李庆奎 ;

吴勇本 ;

郑远勋 ;

罗宁 ;

王武 .

中国专利 :CN105648407A ,2016-06-08

[3]

一种钼铌合金溅射靶材的制备工艺 [P].

孙虎民 ;

赵文普 ;

陈亚光 ;

高建杰 .

中国专利 :CN105887027A ,2016-08-24

[4]

一种高致密度高含量钼铌合金靶材的制备工艺 [P].

周利红 ;

黄平建 .

中国专利 :CN109439990A ,2019-03-08

[5]

一种钼铌合金溅射靶材的制备方法 [P].

党晓明 ;

安耿 ;

李晶 ;

席莎 ;

赵虎 ;

刘仁智 .

中国专利 :CN105441884B ,2016-03-30

[6]

一种钼合金溅射靶材的制备工艺 [P].

张雪凤 ;

李帅方 ;

方宏 ;

陈亚光 ;

宁来元 ;

郭雅俊 .

中国专利 :CN114293160A ,2022-04-08

[7]

钼合金溅射靶材及其制备方法 [P].

王广达 ;

季鹏飞 ;

张丹华 ;

牛曼 ;

王凤权 ;

常洋 .

中国专利 :CN118048546A ,2024-05-17

[8]

一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备方法及装置 [P].

陆有军 ;

高杰 ;

刘洋 ;

林立群 ;

刘乡 ;

万治清 .

中国专利 :CN112853284A ,2021-05-28

[9]

一种溅射靶材用钼铌合金板的制备方法 [P].

淡新国 ;

侯军涛 ;

李明强 ;

郭让民 ;

郭磊 ;

邓自南 .

中国专利 :CN102337418A ,2012-02-01

[10]

一种铌合金溅射靶材及其制备方法 [P].

方宏 ;

张雪凤 ;

孙虎民 .

中国专利 :CN113584366B ,2021-11-02

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