一种溅射靶材用钼铌合金板的制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201110334975.4
申请日
2011-10-29
公开(公告)号
CN102337418A
公开(公告)日
2012-02-01
发明(设计)人
淡新国 侯军涛 李明强 郭让民 郭磊 邓自南
申请人
申请人地址
710201 陕西省西安市经济技术开发区泾渭工业园西金路西段19号
IPC主分类号
C22C104
IPC分类号
C22C2704 C23C1434 C23C1414
代理机构
西安创知专利事务所 61213
代理人
谭文琰
法律状态
公开
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
一种钼铌合金溅射靶材的制备方法 [P]. 
党晓明 ;
安耿 ;
李晶 ;
席莎 ;
赵虎 ;
刘仁智 .
中国专利 :CN105441884B ,2016-03-30
[2]
一种钼铌合金溅射靶材的制备工艺 [P]. 
孙虎民 ;
赵文普 ;
陈亚光 ;
高建杰 .
中国专利 :CN105887027A ,2016-08-24
[3]
一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备方法及装置 [P]. 
陆有军 ;
高杰 ;
刘洋 ;
林立群 ;
刘乡 ;
万治清 .
中国专利 :CN112853284A ,2021-05-28
[4]
一种高致密度钼铌合金溅射靶材的制备工艺 [P]. 
李帅方 ;
方宏 ;
孙虎民 ;
张雪凤 ;
刘宁平 ;
陈亚光 ;
高艳岭 .
中国专利 :CN110257784A ,2019-09-20
[5]
一种钼钛合金溅射靶材板的制备方法 [P]. 
席莎 ;
安耿 ;
李晶 ;
赵虎 .
中国专利 :CN104532201A ,2015-04-22
[6]
一种铌合金溅射靶材及其制备方法 [P]. 
方宏 ;
张雪凤 ;
孙虎民 .
中国专利 :CN113584366B ,2021-11-02
[7]
一种制备钼钛合金溅射靶材的方法 [P]. 
周伟 ;
李倩 ;
辛社伟 ;
李磊 ;
陈军 ;
张思远 .
中国专利 :CN108374152A ,2018-08-07
[8]
钼合金溅射靶材及其制备方法 [P]. 
王广达 ;
季鹏飞 ;
张丹华 ;
牛曼 ;
王凤权 ;
常洋 .
中国专利 :CN118048546A ,2024-05-17
[9]
靶材用钼铌合金板的制备方法 [P]. 
杨国启 ;
扈百直 ;
孙本双 ;
王东新 ;
钟景明 ;
李彬 ;
李海军 ;
吴红 ;
罗丹 ;
刘创红 ;
刘兆刚 ;
李军义 ;
岳坤 ;
郑金凤 ;
孙磊 .
中国专利 :CN103146974A ,2013-06-12
[10]
溅射靶材用钨钛合金板的制备方法 [P]. 
丁旭 ;
白锋 ;
李文超 ;
侯军涛 ;
黄先明 ;
郭让民 .
中国专利 :CN102002605A ,2011-04-06