晶圆清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920459687.3

申请日：

2019-04-04

公开(公告)号：

CN209496831U

公开(公告)日：

2019-10-15

发明(设计)人：

王永昌叶日铨刘家桦张文福

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-10-15	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆清洗装置 [P].

唐强 ;

马智勇 .

中国专利 :CN203955646U ,2014-11-26

[2]

晶圆清洗装置 [P].

陈嘉勇 ;

郑志成 ;

苏财宝 ;

林士闵 .

中国专利 :CN216631781U ,2022-05-31

[3]

晶圆清洗装置 [P].

苏晓平 ;

江彤 .

中国专利 :CN201369318Y ,2009-12-23

[4]

晶圆清洗装置 [P].

陈志鹏 ;

高盼盼 ;

覃源 .

中国专利 :CN221311595U ,2024-07-12

[5]

晶圆清洗装置 [P].

孙书雄 ;

张宏权 ;

庄武斌 ;

张锐 ;

李剑 .

中国专利 :CN214588757U ,2021-11-02

[6]

晶圆清洗装置 [P].

林士闵 ;

郑志成 ;

陈嘉勇 ;

苏财宝 .

中国专利 :CN216728501U ,2022-06-14

[7]

晶圆清洗装置 [P].

万先进 ;

梁志远 ;

李文超 ;

边逸军 .

中国专利 :CN218282848U ,2023-01-13

[8]

晶圆清洗装置 [P].

陈俊铭 .

中国专利 :CN2632848Y ,2004-08-11

[9]

晶圆清洗装置 [P].

卢思源 ;

陈章晏 ;

云巴图 ;

颜超仁 .

中国专利 :CN209981177U ,2020-01-21

[10]

晶圆清洗装置 [P].

李恒甫 .

中国专利 :CN206325876U ,2017-07-14

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