一种硅片单组份清洗剂及其制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202111084976.8
申请日
2021-09-16
公开(公告)号
CN113773920A
公开(公告)日
2021-12-10
发明(设计)人
徐志群 高大 孙彬 付明全
申请人
申请人地址
519000 广东省珠海市金湾区三灶镇金海岸大道西46号4#号厂房第四层404
IPC主分类号
C11D1831
IPC分类号
C11D304 C11D310 C11D320 C11D333 C11D334 C11D337 C11D360
代理机构
北京众达德权知识产权代理有限公司 11570
代理人
张晓冬
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
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[2]
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[5]
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[6]
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[10]
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