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真空泵及真空泵的清洗系统
被引：0
申请号：
CN202180039890.5
申请日：
2021-07-07
公开(公告)号：
CN115667725A
公开(公告)日：
2023-01-31
发明(设计)人：
市原孝一
申请人：
申请人地址：
日本千叶县
IPC主分类号：
F04D1904
IPC分类号：
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人：
朱美红;郭帆扬
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-01-31 | 公开 | 公开 |