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一种抛光液自动配液装置
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202110589944.7
申请日
:
2021-05-28
公开(公告)号
:
CN113198340A
公开(公告)日
:
2021-08-03
发明(设计)人
:
张宏杰
刘建伟
武卫
刘园
祝斌
刘姣龙
由佰玲
裴坤羽
孙晨光
王彦君
常雪岩
杨春雪
谢艳
袁祥龙
刘秒
吕莹
徐荣清
申请人
:
申请人地址
:
300384 天津市滨海新区华苑产业区(环外)海泰东路12号
IPC主分类号
:
B01F510
IPC分类号
:
B01F1500
B01F1504
代理机构
:
天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213
代理人
:
栾志超
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-08-03
公开
公开
2021-08-20
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):B01F 5/10 申请日:20210528
共 50 条
[1]
一种抛光液自动配液装置
[P].
张宏杰
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张宏杰
;
刘建伟
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刘建伟
;
武卫
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武卫
;
刘园
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刘园
;
祝斌
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祝斌
;
刘姣龙
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刘姣龙
;
由佰玲
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由佰玲
;
裴坤羽
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裴坤羽
;
孙晨光
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孙晨光
;
王彦君
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王彦君
;
常雪岩
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常雪岩
;
杨春雪
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杨春雪
;
谢艳
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谢艳
;
袁祥龙
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袁祥龙
;
刘秒
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刘秒
;
吕莹
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吕莹
;
徐荣清
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徐荣清
.
中国专利
:CN215463400U
,2022-01-11
[2]
一种抛光液自动配液装置
[P].
赵元亚
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赵元亚
;
蒋七敏
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蒋七敏
;
吴琼琼
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吴琼琼
;
崔思远
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崔思远
.
中国专利
:CN217120141U
,2022-08-05
[3]
一种抛光液配液桶
[P].
吴倩
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机构:
广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
吴倩
;
周铁军
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机构:
广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
周铁军
;
田玉莲
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机构:
广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
田玉莲
;
王金灵
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机构:
广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
王金灵
.
中国专利
:CN220478603U
,2024-02-13
[4]
抛光液自动供液系统
[P].
陈炯杰
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机构:
张家港市超声电气有限公司
张家港市超声电气有限公司
陈炯杰
.
中国专利
:CN220548132U
,2024-03-01
[5]
抛光液自动滴液装置
[P].
刘云
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刘云
;
张彪
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张彪
;
王立军
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王立军
;
王祥鹏
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王祥鹏
;
王超
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王超
.
中国专利
:CN101073881A
,2007-11-21
[6]
抛光液自动供液装置
[P].
陈宏
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机构:
声达半导体设备(江苏)有限公司
声达半导体设备(江苏)有限公司
陈宏
;
陈伟
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机构:
声达半导体设备(江苏)有限公司
声达半导体设备(江苏)有限公司
陈伟
.
中国专利
:CN223617509U
,2025-12-02
[7]
抛光液供给臂及抛光液供给装置
[P].
李伟
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李伟
;
姜家宏
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姜家宏
;
王铮
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王铮
.
中国专利
:CN108177089A
,2018-06-19
[8]
一种氧化铝抛光液配液装置
[P].
顾芸芸
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机构:
无锡云岭半导体有限公司
无锡云岭半导体有限公司
顾芸芸
.
中国专利
:CN222871971U
,2025-05-16
[9]
抛光液
[P].
杨伟明
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杨伟明
.
中国专利
:CN1891777A
,2007-01-10
[10]
抛光液
[P].
施翊璇
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机构:
纯钧新材料(深圳)有限公司
纯钧新材料(深圳)有限公司
施翊璇
;
汤弢
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机构:
纯钧新材料(深圳)有限公司
纯钧新材料(深圳)有限公司
汤弢
.
中国专利
:CN116285697B
,2025-04-11
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