气相沉积炉配气系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821456398.X

申请日：

2018-09-06

公开(公告)号：

CN208776837U

公开(公告)日：

2019-04-23

发明(设计)人：

赵青松宁红锋南建辉

申请人：

申请人地址：

102299 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C1652

代理机构：

北京维澳专利代理有限公司 11252

代理人：

王立民;贾博雍

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-30	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/455 登记生效日:20211117 变更事项:专利权人变更前权利人:东泰高科装备科技有限公司变更后权利人:紫石能源有限公司变更事项:地址变更前权利人:102299 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室变更后权利人:102208 北京市昌平区育知东路30号院1号楼6层3单元611
2021-03-09	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 16/455 变更事项:专利权人变更前:东泰高科装备科技（北京）有限公司变更后:东泰高科装备科技有限公司变更事项:地址变更前:102299 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室变更后:102299 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室
2019-04-23	授权	授权

共 50 条

[1]

气相沉积炉及气相沉积系统 [P].

刘鑫培 ;

朱小刚 ;

刘慧敏 .

中国专利 :CN211142169U ,2020-07-31

[2]

气相沉积炉 [P].

朱文博 ;

银波 ;

范协诚 ;

王文 ;

夏高强 ;

薛明华 .

中国专利 :CN207684897U ,2018-08-03

[3]

化学气相沉积炉、系统及用于化学气相沉积的装炉结构 [P].

姚宏 ;

黄志鹏 ;

赵领航 ;

杜路路 ;

段滨 .

中国专利 :CN217127529U ,2022-08-05

[4]

化学气相沉积炉 [P].

于金凤 ;

朱刘 .

中国专利 :CN209039580U ,2019-06-28

[5]

化学气相沉积炉 [P].

朱刘 ;

朱巨才 ;

于金凤 ;

吴伟平 ;

陈松 ;

李钦 .

中国专利 :CN203393225U ,2014-01-15

[6]

化学气相沉积炉 [P].

于金凤 ;

朱刘 .

中国专利 :CN209052765U ,2019-07-02

[7]

化学气相沉积炉 [P].

于金凤 ;

朱刘 .

中国专利 :CN207294881U ,2018-05-01

[8]

化学气相沉积炉及化学气相沉积设备 [P].

朱伟杰 ;

顾志强 ;

戴建庭 ;

董宁 ;

李强 .

中国专利 :CN209522919U ,2019-10-22

[9]

气相沉积炉 [P].

康治政 ;

詹林 ;

王滋川 ;

匡良明 .

中国专利 :CN215163104U ,2021-12-14

[10]

气相沉积炉 [P].

余盛杰 ;

曾仁杰 ;

许鹏飞 ;

廖家豪 .

中国专利 :CN120844059A ,2025-10-28

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