气相沉积炉及气相沉积系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921828411.4

申请日：

2019-10-29

公开(公告)号：

CN211142169U

公开(公告)日：

2020-07-31

发明(设计)人：

刘鑫培朱小刚刘慧敏

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市工业园区苏虹东路17号2#厂房

IPC主分类号：

C23C16513

IPC分类号：

C23C16455 C23C1652

代理机构：

南京艾普利德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32297

代理人：

陆明耀;顾祥安

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-07-31	授权	授权

共 50 条

[1]

气相沉积炉、其使用方法及气相沉积系统 [P].

刘鑫培 ;

朱小刚 ;

刘慧敏 .

中国专利 :CN110629205A ,2019-12-31

[2]

气相沉积炉、其使用方法及气相沉积系统 [P].

刘鑫培 ;

朱小刚 ;

刘慧敏 .

中国专利 :CN110629205B ,2024-02-13

[3]

气相沉积炉 [P].

朱文博 ;

银波 ;

范协诚 ;

王文 ;

夏高强 ;

薛明华 .

中国专利 :CN207684897U ,2018-08-03

[4]

化学气相沉积炉及化学气相沉积设备 [P].

朱伟杰 ;

顾志强 ;

戴建庭 ;

董宁 ;

李强 .

中国专利 :CN209522919U ,2019-10-22

[5]

化学气相沉积炉、系统及用于化学气相沉积的装炉结构 [P].

姚宏 ;

黄志鹏 ;

赵领航 ;

杜路路 ;

段滨 .

中国专利 :CN217127529U ,2022-08-05

[6]

气相沉积系统及气相沉积方法 [P].

张慧娟 ;

刘建宏 .

中国专利 :CN104561932B ,2015-04-29

[7]

气相沉积炉配气系统 [P].

赵青松 ;

宁红锋 ;

南建辉 .

中国专利 :CN208776837U ,2019-04-23

[8]

气相沉积炉 [P].

康治政 ;

詹林 ;

王滋川 ;

匡良明 .

中国专利 :CN215163104U ,2021-12-14

[9]

气相沉积炉 [P].

余盛杰 ;

曾仁杰 ;

许鹏飞 ;

廖家豪 .

中国专利 :CN120844059A ,2025-10-28

[10]

气相沉积炉 [P].

余盛杰 ;

陈嘉文 ;

许鹏飞 ;

廖家豪 ;

窦坤鹏 .

中国专利 :CN120888904A ,2025-11-04

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