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一种硅片清洗花篮
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201520631204.5
申请日：
2015-08-20
公开(公告)号：
CN204885116U
公开(公告)日：
2015-12-16
发明(设计)人：
钱钢
申请人：
申请人地址：
201606 上海市松江区泖港镇五厍工业区西厍路20号
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-30 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/673 申请日:20150820 授权公告日:20151216 终止日期:20200820 |
| 2015-12-16 | 授权 | 授权 |