化学机械抛光机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610010189.1

申请日：

2016-01-05

公开(公告)号：

CN105598827A

公开(公告)日：

2016-05-25

发明(设计)人：

许振杰王剑陈祥玉王同庆李昆路新春

申请人：

申请人地址：

300350 天津市津南区海河科技园区聚兴道9号，8号楼

IPC主分类号：

B24B3704

IPC分类号：

B24B3727 B24B3734

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

黄德海

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-25	公开	公开
2016-06-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101666691353 IPC(主分类):B24B 37/04 专利申请号:2016100101891 申请日:20160105
2018-05-22	授权	授权
2020-06-19	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):B24B 37/04 变更事项:专利权人变更前:天津华海清科机电科技有限公司变更后:华海清科股份有限公司变更事项:地址变更前:300350 天津市津南区海河科技园区聚兴道9号，8号楼变更后:300350 天津市津南区海河科技园区聚兴道9号，8号楼变更事项:共同专利权人变更前:清华大学变更后:清华大学

共 50 条

[1]

化学机械抛光机及具有它的化学机械抛光设备 [P].

路新春 ;

许振杰 ;

何永勇 ;

王同庆 ;

沈攀 ;

赵德文 ;

梅赫赓 ;

张连清 ;

裴召辉 ;

雒建斌 .

中国专利 :CN201833275U ,2011-05-18

[2]

化学机械抛光机及具有它的化学机械抛光设备 [P].

路新春 ;

许振杰 ;

何永勇 ;

王同庆 ;

沈攀 ;

赵德文 ;

梅赫赓 ;

张连清 ;

裴召辉 ;

雒建斌 .

中国专利 :CN101934496B ,2011-01-05

[3]

化学机械抛光机台 [P].

林士杰 ;

谈文毅 .

中国专利 :CN210255734U ,2020-04-07

[4]

化学机械抛光机台 [P].

张家伦 .

中国专利 :CN221455541U ,2024-08-02

[5]

一种新型化学机械抛光机 [P].

吴拥中 ;

龚圣智 ;

赵宇 ;

刘忠旭 .

中国专利 :CN218017752U ,2022-12-13

[6]

用于化学机械抛光机的防溅装置和化学机械抛光机 [P].

路新春 ;

许振杰 .

中国专利 :CN102335866A ,2012-02-01

[7]

化学机械抛光机及用于其的抛光组件 [P].

路新春 ;

李昆 ;

赵德文 ;

雒建斌 ;

温诗铸 ;

许振杰 ;

沈攀 ;

王同庆 ;

郭振宇 ;

裴召辉 .

中国专利 :CN106737055A ,2017-05-31

[8]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

朱慧珑 ;

钟汇才 ;

梁擎擎 ;

赵超 .

中国专利 :CN102756323A ,2012-10-31

[9]

化学机械抛光设备与化学机械抛光工艺 [P].

胡俊汀 ;

谢祖怡 ;

曾子育 ;

郭永杰 ;

白弘吉 .

中国专利 :CN1986157A ,2007-06-27

[10]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

李洪阳 ;

陈映松 ;

许振杰 ;

李长坤 ;

王科 .

中国专利 :CN120134207B ,2025-08-19

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