化学机械抛光机及具有它的化学机械抛光设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201020283455.6

申请日：

2010-08-05

公开(公告)号：

CN201833275U

公开(公告)日：

2011-05-18

发明(设计)人：

路新春许振杰何永勇王同庆沈攀赵德文梅赫赓张连清裴召辉雒建斌

申请人：

申请人地址：

100084 北京市100084-82信箱

IPC主分类号：

B24B3704

IPC分类号：

H01L21304

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

宋合成

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-05-18	授权	授权
2012-05-02	避免重复授权放弃专利权	避免重复授权放弃专利权号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101343530726 IPC(主分类):B24B 37/04 专利号:ZL2010202834556 申请日:20100805 授权公告日:20110518 放弃生效日:20120502

共 50 条

[1]

化学机械抛光机及具有它的化学机械抛光设备 [P].

路新春 ;

许振杰 ;

何永勇 ;

王同庆 ;

沈攀 ;

赵德文 ;

梅赫赓 ;

张连清 ;

裴召辉 ;

雒建斌 .

中国专利 :CN101934496B ,2011-01-05

[2]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

朱慧珑 ;

钟汇才 ;

梁擎擎 ;

赵超 .

中国专利 :CN102756323A ,2012-10-31

[3]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

李洪阳 ;

陈映松 ;

许振杰 ;

李长坤 ;

王科 .

中国专利 :CN120134207B ,2025-08-19

[4]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

李洪阳 ;

陈映松 ;

许振杰 ;

李长坤 ;

王科 .

中国专利 :CN120862551A ,2025-10-31

[5]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

李洪阳 ;

陈映松 ;

许振杰 ;

李长坤 ;

王科 .

中国专利 :CN120134207A ,2025-06-13

[6]

化学机械抛光机 [P].

许振杰 ;

王剑 ;

陈祥玉 ;

王同庆 ;

李昆 ;

路新春 .

中国专利 :CN105598827A ,2016-05-25

[7]

化学机械抛光方法和化学机械抛光设备 [P].

邵群 ;

王庆玲 .

中国专利 :CN103035504B ,2013-04-10

[8]

化学机械抛光设备 [P].

路新春 ;

何永勇 ;

沈攀 ;

许振杰 ;

王同庆 ;

裴召辉 ;

徐海滨 ;

张莉瑶 ;

郭振宇 ;

雒建斌 .

中国专利 :CN103252705A ,2013-08-21

[9]

化学机械抛光设备和化学机械抛光方法 [P].

唐强 .

中国专利 :CN108115553A ,2018-06-05

[10]

化学机械抛光设备与化学机械抛光工艺 [P].

胡俊汀 ;

谢祖怡 ;

曾子育 ;

郭永杰 ;

白弘吉 .

中国专利 :CN1986157A ,2007-06-27

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