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基于多尺度成像系统的分孔径像差校正方法及其光学系统
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201911367068.2
申请日
:
2019-12-26
公开(公告)号
:
CN111077669A
公开(公告)日
:
2020-04-28
发明(设计)人
:
刘飞
刘佳维
邵晓鹏
段景博
杨思原
冯位欣
申请人
:
申请人地址
:
710000 陕西省西安市雁塔区太白南路2号
IPC主分类号
:
G02B2700
IPC分类号
:
代理机构
:
西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230
代理人
:
李园园
法律状态
:
发明专利申请公布后的驳回
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2022-12-23
发明专利申请公布后的驳回
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G02B 27/00 申请公布日:20200428
2020-05-22
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 27/00 申请日:20191226
2020-04-28
公开
公开
共 50 条
[1]
像差校正光学系统
[P].
T·W·图克
论文数:
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机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
T·W·图克
;
P·D·范福尔斯特
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机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
P·D·范福尔斯特
;
周子理
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ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
周子理
;
H·R·M·范格里布罗克
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ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
H·R·M·范格里布罗克
;
A·巴拉尼科夫
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ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
A·巴拉尼科夫
;
M·U·阿拉布
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机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
M·U·阿拉布
.
:CN120019317A
,2025-05-16
[2]
多孔径成像光学系统及其共相位校正方法
[P].
张建文
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
张建文
;
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机构:
邓伟杰
;
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付强
;
徐萌萌
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
徐萌萌
;
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机构:
薛栋林
;
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机构:
张学军
.
中国专利
:CN119376098B
,2025-04-01
[3]
多孔径成像光学系统及其共相位校正方法
[P].
张建文
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
张建文
;
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机构:
邓伟杰
;
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机构:
付强
;
徐萌萌
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
徐萌萌
;
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机构:
薛栋林
;
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机构:
张学军
.
中国专利
:CN119376098A
,2025-01-28
[4]
光学系统中像差校正的系统的方法
[P].
卢克·斯图尔特
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卢克·斯图尔特
;
格伦·韦恩·巴克斯特
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格伦·韦恩·巴克斯特
;
史蒂文·詹姆斯·弗里斯特
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史蒂文·詹姆斯·弗里斯特
.
中国专利
:CN114594550A
,2022-06-07
[5]
光学系统中像差校正的系统的方法
[P].
卢克·斯图尔特
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卢克·斯图尔特
;
格伦·韦恩·巴克斯特
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格伦·韦恩·巴克斯特
;
史蒂文·詹姆斯·弗里斯特
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史蒂文·詹姆斯·弗里斯特
.
中国专利
:CN111190246A
,2020-05-22
[6]
光学系统中像差校正的系统的方法
[P].
卢克·斯图尔特
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卢克·斯图尔特
;
格伦·韦恩·巴克斯特
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格伦·韦恩·巴克斯特
;
史蒂文·詹姆斯·弗里斯特
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史蒂文·詹姆斯·弗里斯特
.
中国专利
:CN105359010A
,2016-02-24
[7]
光学系统像差的数字校正
[P].
德米特里·瓦莱里维奇·施穆克
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德米特里·瓦莱里维奇·施穆克
;
维克多·亚历山德罗维奇·莫纳雷夫
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维克多·亚历山德罗维奇·莫纳雷夫
.
中国专利
:CN110023810A
,2019-07-16
[8]
物镜像差校正镜及像差校正方法和光学系统、光刻机
[P].
郭银章
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郭银章
.
中国专利
:CN107797218B
,2018-03-13
[9]
会聚光分孔径多光谱成像光学系统
[P].
李芸
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李芸
;
邹纯博
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邹纯博
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胡炳樑
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胡炳樑
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白清兰
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白清兰
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武登山
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武登山
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李立波
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李立波
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张耿
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张耿
;
闫鹏
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闫鹏
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孔亮
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孔亮
;
王飞橙
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王飞橙
.
中国专利
:CN210774359U
,2020-06-16
[10]
会聚光分孔径多光谱成像光学系统
[P].
李芸
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李芸
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邹纯博
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邹纯博
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胡炳樑
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胡炳樑
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白清兰
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白清兰
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武登山
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孔亮
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孔亮
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王飞橙
.
中国专利
:CN110631701A
,2019-12-31
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