光学系统中像差校正的系统的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910887419.6

申请日：

2014-05-17

公开(公告)号：

CN111190246A

公开(公告)日：

2020-05-22

发明(设计)人：

卢克·斯图尔特格伦·韦恩·巴克斯特史蒂文·詹姆斯·弗里斯特

申请人：

申请人地址：

美国宾夕法尼亚州

IPC主分类号：

G02B518

IPC分类号：

G02B635

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

王璐璐

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-22	公开	公开
2020-06-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 5/18 申请日:20140517
2022-03-29	授权	授权

共 50 条

[1]

光学系统中像差校正的系统的方法 [P].

卢克·斯图尔特 ;

格伦·韦恩·巴克斯特 ;

史蒂文·詹姆斯·弗里斯特 .

中国专利 :CN114594550A ,2022-06-07

[2]

光学系统中像差校正的系统的方法 [P].

卢克·斯图尔特 ;

格伦·韦恩·巴克斯特 ;

史蒂文·詹姆斯·弗里斯特 .

中国专利 :CN105359010A ,2016-02-24

[3]

光学系统像差的数字校正 [P].

德米特里·瓦莱里维奇·施穆克 ;

维克多·亚历山德罗维奇·莫纳雷夫 .

中国专利 :CN110023810A ,2019-07-16

[4]

像差校正光学系统 [P].

T·W·图克 ;

P·D·范福尔斯特 ;

周子理 ;

H·R·M·范格里布罗克 ;

A·巴拉尼科夫 ;

M·U·阿拉布 .

:CN120019317A ,2025-05-16

[5]

光学系统和光学系统中的方法 [P].

拉尔斯·伯登 .

中国专利 :CN1541461A ,2004-10-27

[6]

投影光学系统的像差测定方法 [P].

福原和也 ;

佐藤隆 .

中国专利 :CN1224834C ,2003-08-27

[7]

物镜像差校正镜及像差校正方法和光学系统、光刻机 [P].

郭银章 .

中国专利 :CN107797218B ,2018-03-13

[8]

有像差校正的1∶1折反射式光学系统 [P].

王之江 ;

张雨东 .

中国专利 :CN1029801C ,1993-03-31

[9]

基于多尺度成像系统的分孔径像差校正方法及其光学系统 [P].

刘飞 ;

刘佳维 ;

邵晓鹏 ;

段景博 ;

杨思原 ;

冯位欣 .

中国专利 :CN111077669A ,2020-04-28

[10]

光学系统及光学系统的定位方法 [P].

吴志平 ;

徐世龙 .

中国专利 :CN1453630A ,2003-11-05

← 1 2 3 4 5 →