投影光学系统的像差测定方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03102390.8

申请日：

2003-02-12

公开(公告)号：

CN1224834C

公开(公告)日：

2003-08-27

发明(设计)人：

福原和也佐藤隆

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G01M1102

IPC分类号：

H01L21027 G03F720

代理机构：

北京市中咨律师事务所

代理人：

李峥;陈海红

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-04-20	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101063896742 IPC(主分类):G01M 11/02 专利号:ZL031023908 申请日:20030212 授权公告日:20051026 终止日期:20100212
2003-08-27	公开	公开
2003-11-12	实质审查的生效	实质审查的生效
2005-10-26	授权	授权

共 50 条

[1]

投影光学系统 [P].

孟祥月 ;

陈威望 ;

宋立通 ;

励维芳 ;

贺凌波 ;

戴付建 .

中国专利 :CN121209064A ,2025-12-26

[2]

投影光学系统 [P].

杨威 ;

全丽伟 ;

李源财 ;

章丽娟 ;

姜永旭 ;

饶钦和 .

中国专利 :CN120669392A ,2025-09-19

[3]

投影光学系统 [P].

李 .

中国专利 :CN1297834C ,2005-02-02

[4]

投影光学系统 [P].

蔡燕民 ;

王向朝 ;

唐锋 .

中国专利 :CN103926801A ,2014-07-16

[5]

投影光学系统 [P].

王昕歌 .

中国专利 :CN104777720B ,2015-07-15

[6]

投影光学系统 [P].

全丽伟 ;

王浩 ;

龚俊强 ;

饶钦合 .

中国专利 :CN222965564U ,2025-06-10

[7]

投影光学系统 [P].

全丽伟 ;

王浩 ;

龚俊强 ;

饶钦合 .

中国专利 :CN118689024A ,2024-09-24

[8]

车载投影光学系统 [P].

全丽伟 ;

李守林 ;

鲍昭汉 ;

王浩 ;

龚俊强 .

中国专利 :CN116165771B ,2025-10-28

[9]

投影光学系统、投影光学系统的制造方法和使用该光学系统的投影曝光装置 [P].

平岩弘之 ;

田中一政 .

中国专利 :CN1293822A ,2001-05-02

[10]

投影光学系统 [P].

郑竹明 .

中国专利 :CN100371767C ,2005-04-20

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