投影光学系统、投影光学系统的制造方法和使用该光学系统的投影曝光装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN00800017.4

申请日：

2000-01-06

公开(公告)号：

CN1293822A

公开(公告)日：

2001-05-02

发明(设计)人：

平岩弘之田中一政

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

H01L21027

IPC分类号：

G03F720 G02B1324

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

委向冈

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2004-08-11	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回
2001-09-19	实质审查的生效	实质审查的生效
2001-05-02	公开	公开

共 50 条

[1]

投影光学系统和具有该投影光学系统的曝光装置 [P].

末永丰 .

中国专利 :CN1423147A ,2003-06-11

[2]

投影光学系统,具有该投影光学系统的投影曝光装置以及投影曝光方法 [P].

重松幸二 ;

水泽圣幸 ;

藤岛洋平 ;

松本实保 .

中国专利 :CN1376949A ,2002-10-30

[3]

投影光学系统和使用投影光学系统的投影显示单元 [P].

石藏直史 .

中国专利 :CN101952774A ,2011-01-19

[4]

投影光学系统以及具备此投影光学系统的曝光装置 [P].

铃木刚司 .

中国专利 :CN1374560A ,2002-10-16

[5]

投影光学系统及具备该投影光学系统的曝光装置 [P].

高桥友刀 .

中国专利 :CN1522381A ,2004-08-18

[6]

投影光学系统以及具有该投影光学系统的曝光装置 [P].

高桥友刀 .

中国专利 :CN100439965C ,2007-01-10

[7]

投影光学系统以及具备该投影光学系统的曝光装置 [P].

高桥友刀 .

中国专利 :CN1497353A ,2004-05-19

[8]

投影光学系统 [P].

李 .

中国专利 :CN1297834C ,2005-02-02

[9]

投影光学系统 [P].

孟祥月 ;

陈威望 ;

宋立通 ;

励维芳 ;

贺凌波 ;

戴付建 .

中国专利 :CN121209064A ,2025-12-26

[10]

投影光学系统 [P].

杨威 ;

全丽伟 ;

李源财 ;

章丽娟 ;

姜永旭 ;

饶钦和 .

中国专利 :CN120669392A ,2025-09-19

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