投影光学系统以及具备此投影光学系统的曝光装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02103545.8

申请日：

2002-02-07

公开(公告)号：

CN1374560A

公开(公告)日：

2002-10-16

发明(设计)人：

铃木刚司

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳专利商标事务所

代理人：

王学强

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2004-10-27	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回
2002-10-16	公开	公开

共 50 条

[1]

投影光学系统以及具备该投影光学系统的曝光装置 [P].

高桥友刀 .

中国专利 :CN1497353A ,2004-05-19

[2]

反射型投影光学系统以及具备此反射型投影光学系统的曝光装置 [P].

高桥友刀 .

中国专利 :CN101006377A ,2007-07-25

[3]

投影光学系统及具备该投影光学系统的曝光装置 [P].

高桥友刀 .

中国专利 :CN1522381A ,2004-08-18

[4]

投影光学系统以及具有该投影光学系统的曝光装置 [P].

高桥友刀 .

中国专利 :CN100439965C ,2007-01-10

[5]

投影光学系统,具有该投影光学系统的投影曝光装置以及投影曝光方法 [P].

重松幸二 ;

水泽圣幸 ;

藤岛洋平 ;

松本实保 .

中国专利 :CN1376949A ,2002-10-30

[6]

投影光学系统、投影光学系统的制造方法和使用该光学系统的投影曝光装置 [P].

平岩弘之 ;

田中一政 .

中国专利 :CN1293822A ,2001-05-02

[7]

投影光学系统和具有该投影光学系统的曝光装置 [P].

末永丰 .

中国专利 :CN1423147A ,2003-06-11

[8]

投影光学系统以及具备该投影光学系统的投影仪 [P].

大谷信 ;

守国荣时 .

中国专利 :CN203054329U ,2013-07-10

[9]

投影光学系统、曝光装置以及曝光方法 [P].

铃木刚司 ;

小松田秀基 ;

大村泰弘 .

中国专利 :CN1452016A ,2003-10-29

[10]

投影光学系统、曝光装置以及曝光方法 [P].

小松田秀基 ;

高桥友刀 ;

铃木雅之 .

中国专利 :CN1954406A ,2007-04-25

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