投影光学系统及具备该投影光学系统的曝光装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02813378.1

申请日：

2002-06-05

公开(公告)号：

CN1522381A

公开(公告)日：

2004-08-18

发明(设计)人：

高桥友刀

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G02B1706

IPC分类号：

H01L21027

代理机构：

北京市中咨律师事务所

代理人：

陈海红;段承恩

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-04-27	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回
2004-08-18	公开	公开

共 50 条

[1]

投影光学系统以及具备该投影光学系统的曝光装置 [P].

高桥友刀 .

中国专利 :CN1497353A ,2004-05-19

[2]

投影光学系统以及具有该投影光学系统的曝光装置 [P].

高桥友刀 .

中国专利 :CN100439965C ,2007-01-10

[3]

投影光学系统和具有该投影光学系统的曝光装置 [P].

末永丰 .

中国专利 :CN1423147A ,2003-06-11

[4]

投影光学系统,具有该投影光学系统的投影曝光装置以及投影曝光方法 [P].

重松幸二 ;

水泽圣幸 ;

藤岛洋平 ;

松本实保 .

中国专利 :CN1376949A ,2002-10-30

[5]

投影光学系统及具备该投影光学系统的投影机 [P].

守国荣时 ;

大谷信 .

中国专利 :CN102830578B ,2012-12-19

[6]

投影光学系统及具备该投影光学系统的投影机 [P].

大谷信 ;

守国荣时 .

中国专利 :CN102866483A ,2013-01-09

[7]

投影光学系统及具备该投影光学系统的投影机 [P].

大谷信 ;

守国荣时 .

中国专利 :CN102902046A ,2013-01-30

[8]

投影光学系统及具备该投影光学系统的投影机 [P].

大谷信 ;

守国荣时 .

中国专利 :CN102866481B ,2013-01-09

[9]

投影光学系统以及具备此投影光学系统的曝光装置 [P].

铃木刚司 .

中国专利 :CN1374560A ,2002-10-16

[10]

投影光学系统以及具备该投影光学系统的投影仪 [P].

大谷信 ;

守国荣时 .

中国专利 :CN203054329U ,2013-07-10

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