投影光学系统以及具有该投影光学系统的曝光装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200480037009.4

申请日：

2004-12-21

公开(公告)号：

CN100439965C

公开(公告)日：

2007-01-10

发明(设计)人：

高桥友刀

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

G02B1700

IPC分类号：

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

许海兰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-03-07	实质审查的生效	实质审查的生效
2007-01-10	公开	公开
2021-12-03	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G02B 17/00 申请日:20041221 授权公告日:20081203 终止日期:20201221
2008-12-03	授权	授权

共 50 条

[1]

投影光学系统以及具备该投影光学系统的曝光装置 [P].

高桥友刀 .

中国专利 :CN1497353A ,2004-05-19

[2]

投影光学系统及具备该投影光学系统的曝光装置 [P].

高桥友刀 .

中国专利 :CN1522381A ,2004-08-18

[3]

投影光学系统,具有该投影光学系统的投影曝光装置以及投影曝光方法 [P].

重松幸二 ;

水泽圣幸 ;

藤岛洋平 ;

松本实保 .

中国专利 :CN1376949A ,2002-10-30

[4]

投影光学系统和具有该投影光学系统的曝光装置 [P].

末永丰 .

中国专利 :CN1423147A ,2003-06-11

[5]

投影光学系统以及具备此投影光学系统的曝光装置 [P].

铃木刚司 .

中国专利 :CN1374560A ,2002-10-16

[6]

投影光学系统以及具备该投影光学系统的投影仪 [P].

大谷信 ;

守国荣时 .

中国专利 :CN203054329U ,2013-07-10

[7]

反射型投影光学系统以及具备此反射型投影光学系统的曝光装置 [P].

高桥友刀 .

中国专利 :CN101006377A ,2007-07-25

[8]

投影光学系统、投影光学系统的制造方法和使用该光学系统的投影曝光装置 [P].

平岩弘之 ;

田中一政 .

中国专利 :CN1293822A ,2001-05-02

[9]

投影光学系统及具备该投影光学系统的投影机 [P].

守国荣时 ;

大谷信 .

中国专利 :CN102830578B ,2012-12-19

[10]

投影光学系统及具备该投影光学系统的投影机 [P].

大谷信 ;

守国荣时 .

中国专利 :CN102866483A ,2013-01-09

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