蚀刻方法、掩膜、功能部件以及功能部件的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201380056083.X

申请日：

2013-11-20

公开(公告)号：

CN104755441A

公开(公告)日：

2015-07-01

发明(设计)人：

小岛智明小林良纪泷上哲行浅贺猛

申请人：

申请人地址：

日本埼玉县

IPC主分类号：

C03C1500

IPC分类号：

C03C1722 C03C17245 C23C1414 H01L21308 B81C100 H01L21306

代理机构：

北京德琦知识产权代理有限公司 11018

代理人：

康泉;王珍仙

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-07-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101618658432 IPC(主分类):C03C 15/00 专利申请号:201380056083X 申请日:20131120
2018-04-13	授权	授权
2015-07-01	公开	公开

共 50 条

[1]

功能部件的制造方法 [P].

埜本信一 ;

铃木道雄 .

中国专利 :CN103003935B ,2013-03-27

[2]

功能部件的制造方法及所获得的功能部件 [P].

希沙姆·马斯克罗特 ;

奥利维尔·赫彻 ;

弗雷德里克·舒斯特 .

中国专利 :CN114682797A ,2022-07-01

[3]

电子功能部件和用于制造电子功能部件的方法 [P].

U.沙夫 ;

K.贝绍尔 ;

R.瓦尔 ;

A.库格勒 .

中国专利 :CN105916802A ,2016-08-31

[4]

电功能部件及用于制造电功能部件的方法 [P].

D·阿尔瓦伊 ;

Z·霍瓦特 .

德国专利 :CN120113335A ,2025-06-06

[5]

压电功能部件及其制造方法 [P].

中谷将也 .

中国专利 :CN100391024C ,2004-01-28

[6]

制造功能部件组件的方法、功能部件组件及执行该方法的设备 [P].

G·穆勒 .

中国专利 :CN112806111A ,2021-05-14

[7]

功能部件安装基座、功能部件以及轮胎 [P].

羽根田知幸 .

中国专利 :CN111448083A ,2020-07-24

[8]

玻璃部件以及玻璃部件的制造方法 [P].

荒生肇 .

日本专利 :CN121069559A ,2025-12-05

[9]

空调装置以及功能部件的更换方法 [P].

深川一成 ;

豊田竜一 ;

北川奈津子 ;

高见悠基 ;

青松裕美 .

日本专利 :CN116829879B ,2024-02-06

[10]

反应性离子蚀刻用掩膜材料、掩膜以及干蚀刻方法 [P].

大川秀一 ;

服部一博 .

中国专利 :CN1784510A ,2006-06-07

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