一种多腔室石墨沉积装置及化学气相沉积炉

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410160934.1

申请日：

2014-04-21

公开(公告)号：

CN103898475A

公开(公告)日：

2014-07-02

发明(设计)人：

朱刘朱巨才于金凤吴伟平陈松李钦

申请人：

申请人地址：

511800 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号

IPC主分类号：

C23C1644

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

曹志霞

法律状态：

专利实施许可合同备案的生效、变更及注销

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

一种多腔室石墨沉积装置及化学气相沉积炉 [P].

朱刘 ;

朱巨才 ;

于金凤 ;

吴伟平 ;

陈松 ;

李钦 .

中国专利 :CN203834014U ,2014-09-17

[2]

一种化学气相沉积炉用石墨沉积装置 [P].

朱刘 ;

于金凤 ;

刘留 .

中国专利 :CN105420686A ,2016-03-23

[3]

一种化学气相沉积炉用石墨沉积装置 [P].

朱刘 ;

于金凤 ;

刘留 .

中国专利 :CN205556772U ,2016-09-07

[4]

化学气相沉积炉及化学气相沉积装置 [P].

杨竣焜 .

中国专利 :CN120575152A ,2025-09-02

[5]

化学气相沉积炉及化学气相沉积设备 [P].

朱伟杰 ;

顾志强 ;

戴建庭 ;

董宁 ;

李强 .

中国专利 :CN209522919U ,2019-10-22

[6]

一种化学气相沉积炉以及一种化学气相沉积系统 [P].

朱刘 ;

于金凤 .

中国专利 :CN105039931A ,2015-11-11

[7]

一种化学气相沉积炉用沉积室 [P].

栾吉刚 ;

闫根程 ;

张宜杰 ;

赵启民 .

中国专利 :CN202323024U ,2012-07-11

[8]

一种化学气相沉积炉用沉积室 [P].

王大力 ;

袁志刚 ;

王子铭 ;

黄渤 .

中国专利 :CN221141865U ,2024-06-14

[9]

一种多腔式化学气相沉积炉 [P].

关刚刚 ;

赵亚国 ;

李渭 ;

李辉 .

中国专利 :CN221681191U ,2024-09-10

[10]

一种化学气相沉积装置的反应腔室及化学气相沉积装置 [P].

张森 ;

王祥 ;

费磊 .

中国专利 :CN114016003A ,2022-02-08

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-14	专利实施许可合同备案的生效、变更及注销	专利实施许可合同备案的生效 IPC(主分类):C23C 16/44 合同备案号:X2020110000012 让与人:安徽光智科技有限公司受让人:广东先导先进材料股份有限公司发明名称:一种多腔室石墨沉积装置及化学气相沉积炉申请日:20140421 申请公布日:20140702 授权公告日:20170118 许可种类:普通许可备案日期:20200723
2017-01-18	授权	授权
2014-07-02	公开	公开
2014-07-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101584084504 IPC(主分类):C23C 16/44 专利申请号:2014101609341 申请日:20140421
2022-06-07	专利实施许可合同备案的生效、变更及注销	专利实施许可合同备案的生效 IPC(主分类):C23C 16/44 合同备案号:X2022980005544 让与人:安徽光智科技有限公司受让人:广东先导先进材料股份有限公司发明名称:一种多腔室石墨沉积装置及化学气相沉积炉申请日:20140421 申请公布日:20140702 授权公告日:20170118 许可种类:普通许可备案日期:20220520
2020-06-12	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/44 登记生效日:20200526 变更事项:专利权人变更前权利人:清远先导材料有限公司变更后权利人:安徽光智科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:511800 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号变更后权利人:239000 安徽省滁州市琅琊区琅琊经济开发区内永阳路以东、南京路以西、安庆路以北、六安路以南
2022-04-29	专利实施许可合同备案的生效、变更及注销	专利实施许可合同备案的注销 IPC(主分类):C23C 16/44 合同备案号:X2020110000012 让与人:安徽光智科技有限公司受让人:广东先导先进材料股份有限公司解除日:20220413
2023-01-20	专利实施许可合同备案的生效、变更及注销	专利实施许可合同备案的注销 IPC(主分类):C23C 16/44 合同备案号:X2022980005544 让与人:安徽光智科技有限公司受让人:广东先导先进材料股份有限公司解除日:20230103