一种多腔室石墨沉积装置及化学气相沉积炉

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420195095.2

申请日：

2014-04-21

公开(公告)号：

CN203834014U

公开(公告)日：

2014-09-17

发明(设计)人：

朱刘朱巨才于金凤吴伟平陈松李钦

申请人：

申请人地址：

511800 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号

IPC主分类号：

C23C1644

IPC分类号：

C23C16455 C23C1626

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

曹志霞

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-09-17	授权	授权

共 50 条

[1]

一种多腔室石墨沉积装置及化学气相沉积炉 [P].

朱刘 ;

朱巨才 ;

于金凤 ;

吴伟平 ;

陈松 ;

李钦 .

中国专利 :CN103898475A ,2014-07-02

[2]

一种化学气相沉积炉用石墨沉积装置 [P].

朱刘 ;

于金凤 ;

刘留 .

中国专利 :CN205556772U ,2016-09-07

[3]

一种化学气相沉积炉用石墨沉积装置 [P].

朱刘 ;

于金凤 ;

刘留 .

中国专利 :CN105420686A ,2016-03-23

[4]

化学气相沉积炉及化学气相沉积装置 [P].

杨竣焜 .

中国专利 :CN120575152A ,2025-09-02

[5]

化学气相沉积炉及化学气相沉积设备 [P].

朱伟杰 ;

顾志强 ;

戴建庭 ;

董宁 ;

李强 .

中国专利 :CN209522919U ,2019-10-22

[6]

一种化学气相沉积炉用沉积室 [P].

栾吉刚 ;

闫根程 ;

张宜杰 ;

赵启民 .

中国专利 :CN202323024U ,2012-07-11

[7]

一种化学气相沉积炉用沉积室 [P].

王大力 ;

袁志刚 ;

王子铭 ;

黄渤 .

中国专利 :CN221141865U ,2024-06-14

[8]

一种多腔式化学气相沉积炉 [P].

关刚刚 ;

赵亚国 ;

李渭 ;

李辉 .

中国专利 :CN221681191U ,2024-09-10

[9]

一种化学气相沉积炉沉积室气体导入装置 [P].

高晓堂 ;

袁宇杰 ;

曹俊英 ;

刘锦成 .

中国专利 :CN223509959U ,2025-11-04

[10]

一种化学气相沉积炉以及一种化学气相沉积系统 [P].

朱刘 ;

于金凤 .

中国专利 :CN105039931A ,2015-11-11

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