一种基于侧向场激励剪切波模式的FBAR微压力传感器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710334788.3

申请日：

2017-05-12

公开(公告)号：

CN107192481A

公开(公告)日：

2017-09-22

发明(设计)人：

苏淑靖马晓鑫熊继军谭秋林耿子惠吴永盛韩文革吕楠楠

申请人：

申请人地址：

030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号

IPC主分类号：

G01L116

IPC分类号：

代理机构：

苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257

代理人：

李广

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-10-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 1/16 申请日:20170512
2019-11-22	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01L 1/16 申请公布日:20170922
2017-09-22	公开	公开

共 50 条

[1]

基于厚度方向激励剪切波模式的FBAR微压力传感器 [P].

马晓鑫 ;

苏淑靖 ;

耿子惠 ;

熊继军 ;

谭秋林 .

中国专利 :CN107525610B ,2017-12-29

[2]

膜片上FBAR结构的微压力传感器 [P].

高杨 ;

尹汐漾 ;

何婉婧 ;

韩宾 ;

李君儒 ;

蔡洵 ;

赵俊武 ;

赵坤丽 .

中国专利 :CN104614099B ,2015-05-13

[3]

一种微压力传感器 [P].

张阿平 ;

高少锐 ;

张业斌 .

中国专利 :CN202083512U ,2011-12-21

[4]

一种基于类脑计算的微压力传感器 [P].

李辉 ;

申胜男 ;

刘胜 ;

张云帆 ;

顾倍康 .

中国专利 :CN112504522A ,2021-03-16

[5]

一种基于FBAR的压力传感器及其制备方法 [P].

孙成亮 ;

丁嘉祺 ;

刘炎 ;

蔡耀 ;

刘文娟 ;

谷曦宇 ;

魏民 ;

陈祥 .

中国专利 :CN115513365B ,2025-10-21

[6]

一种基于FBAR的压力传感器及其制备方法 [P].

孙成亮 ;

丁嘉祺 ;

刘炎 ;

蔡耀 ;

刘文娟 ;

谷曦宇 ;

魏民 ;

陈祥 .

中国专利 :CN115513365A ,2022-12-23

[7]

一种薄膜微压力传感器 [P].

孙坤 ;

徐锋 ;

李泽峰 .

中国专利 :CN210862999U ,2020-06-26

[8]

一种薄膜微压力传感器 [P].

孙坤 ;

徐锋 ;

李泽峰 .

英国专利 :CN110887588B ,2025-05-27

[9]

一种薄膜微压力传感器 [P].

孙坤 ;

徐锋 ;

李泽峰 .

中国专利 :CN110887588A ,2020-03-17

[10]

一种抗剪切的压力传感器 [P].

郝东 ;

浦广益 ;

王枫 .

中国专利 :CN218097988U ,2022-12-20

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