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支撑治具及清洗设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110084194.8
申请日：
2021-01-21
公开(公告)号：
CN112764311A
公开(公告)日：
2021-05-07
发明(设计)人：
刘猛
司继伟
杜武兵
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市南山区朗山路16号华瀚创新园办公楼D座102
IPC主分类号：
G03F182
IPC分类号：
代理机构：
广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205
代理人：
谢岳鹏
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-05-07 | 公开 | 公开 |
| 2021-05-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/82 申请日:20210121 |