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硅片交接机械手及硅片交接装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810908756.4
申请日：
2018-08-10
公开(公告)号：
CN110824850A
公开(公告)日：
2020-02-21
发明(设计)人：
刘屈武
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
B65G4791
B25J1506
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
胡彬
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-02-02 | 授权 | 授权 |
| 2020-03-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20180810 |
| 2020-02-21 | 公开 | 公开 |